| Набор TGSFull состоит из 8 калибровочных решеток: TGZ1, TGZ2, TGZ3, TGT1, TGQ1, TGG1, TGX1, TDG01.
TGSFull Набор калибровочных мер для АСМ для латеральной и вертикальной калибровки, субмикронной калибровки, одновременной калибровки во всех плоскостях, определения боковой и латеральной нелинейности, гистерезиса, крипа, определения формы и остроты иглы.
Набор решеток TGSFull предназначен для:
одновременной калибровки СЗМ по X, Y и Z;
субмикронной калибровки СЗМ по X или Y ;
латеральной и вертикальной калибровки;
определения нелинейности сканера, гистерезиса, крипа;
определения формы иглы
3-D визуализации иглы;
определения остроты иглы (аспектное отношение и радиус закругления), степени изношенности и загрязнения иглы.
С подробными спецификациями решеток Вы можете ознакомится по следующим ссылкам:
TGZ1 - Калибровочная решетка для вертикальной калибровки со ступеньками из оксида кремния, диапазон высоты ступени 20,0±2.0 нм
TGZ2 - Калибровочная решетка для вертикальной калибровки со ступеньками из оксида кремния, диапазон высоты ступени 110,0±10 нм
TGZ3 - Калибровочная решетка для вертикальной калибровки со ступеньками из оксида кремния, диапазон высоты ступени 520 ± 20 нм
TGG1 - Калибровочная решетка для вертикальной калибровки, определения боковой и вертикальной нелинейности сканера, определения остроты иглы
TGT1 - Калибровочная решетка для определения остроты и характеристик иглы зонда
TGQ1 - Калибровочная решетка для одновременной калибровки по Z, X. Y со ступеньками высотой 20±2nm
TDG01 - Калибровочная решетка для субмикронной вертикальной калибровки, период 278нм
TGX1 - Калибровочная решетка для определения латеральной нелинейности сканера, крипа, гистерезиса, остроты иглы.
Смотрите товары и услуги рубрики Прочие неорганические вещества в Москве от других компаний Москвы на портале RegTorg.Ru
|
